制备高品质锡基钙钛矿薄膜晶体管器件
2025-02-05
本报讯(记者杨晨)电子科技年夜学教学刘奥跟朱慧慧在新型半导体薄膜电子器件研讨偏向获得主要停顿。相干结果克日宣布于《天然-协定》。锡基钙钛矿资料凭仗其高空穴无效品质跟高迁徙率,在高机能P沟道薄膜晶体管范畴展示出宏大的利用潜力。但是,锡基钙钛矿薄膜的溶液加工仍面对一系列挑衅,尤其是在结晶进程的准确把持跟庞杂缺点态构成方面。锡基资料易氧化、结晶速度较快,且由此发生的高缺点密度,使得在差别试验室情况下牢靠制备高品质锡基钙钛矿薄膜成为一浩劫题。针对锡基钙钛矿资料制备与利用中的要害挑衅,研讨团队联合多年来在该范畴的深刻研讨与工艺开辟教训,提出了一种基于组分调控的化学溶液法,用于制备高机能锡基钙钛矿薄膜,胜利构建了高机能P沟道薄膜晶体管及年夜范围互补金属氧化物半导体(CMOS)器件。研讨职员具体论述了该方式用于分解高品质锡基钙钛矿薄膜的试验流程,同时对薄膜器件构造优化及机能晋升的要害步调停止了片面剖析。该方式可精准调控薄膜的组分、晋升结晶品质、无效下降缺点密度,并实现对薄膜晶体管要害参数,如迁徙率、开关等到稳固性的准确把持。试验进一步验证了制备的薄膜晶体管器件在多种情况前提下的高稳固性与耐用性,为锡基钙钛矿在薄膜电子器件中的现实利用供给了牢靠门路,同时为下一代CMOS技巧的开辟奠基了主要基本。相干论文信息:https://doi.org/10.1038/s41596-024-01101-z